Mit Hilfe der Ion Track Lithographie werden Polymere mit Kanälen im Nanometerbereich hergestellt. Verwendet man Diese in einem Galvanikprozess als Templat, können metallische Nanodrähte abgeschieden werden. 

Ziel dieser Arbeit ist die Entwicklung eines Inertialsensors auf Basis dieser Nanodrähte. Dabei gilt es vor allem folgende Aufgaben zu lösen:

• Strukturierung von Drahtarrays mit seismischer Masse
• Entwicklung eines Mikro-Sensorsystems
• Integration der Drahtarrays in das Mikrosystem