Publikationen

1. Lämmle, David ; Schlosser, Michael ; Schlaak, Helmut F. :
Herstellung von robusten und kostengünstigen Nickel-Wanderkeilaktoren.
In: Mikrosystemtechnik Kongress 2013, 14.-16- Oktober 2013, Aachen.
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (2013)
2. Schlosser, Michael ; Schlaak, Helmut F. :
Intrinsische Schichtspannungen in galvanisch abgeschiedenem Nickel für elektrostatische Mikroaktoren.
[Online-Edition: http://www.galvanotechnik.com]
In: Galvanotechnik, 103 (12) ISSN 0016-4232
[Artikel], (2012)
3. Flittner, Klaus ; Schlosser, Michael ; Schlaak, Helmut F. :
Gas Valve Using Dielectric Elastomer Stack Actuators.
In: Actuator 2012, 18. - 20. Juni, Bremen, Germany.
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (2012)
4. Schlosser, Michael ; Schlaak, Helmut F. :
Curved Electroplated Nickel Cantilever for Switching Applications.
In: ACTUATOR12, 13th International Conference on New Actuators and 7th International Exhibition on Smart Actuators and Drive Systems, 18.Jun.-20.Jun. 2012, Bremen, Germany.
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (2012)
5. Flittner, Klaus ; Schlosser, Michael ; Schlaak, Helmut F. :
Influence of solvents on the mechanical properties of dielectric elastomer actuators.
In: EuroEAP 2012 International conference on Electromechanically Active Polymer (EAP) transducers & artificial muscles, 29-30 May 2012, Potsdam. Proceedings of EuroEAP Potsdam
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (2012)
6. Ionescu, E. ; Martinez Crespiera, S. ; Schlosser, M. ; Flittner, K. ; Schlaak, Helmut F. ; Riedel, R. :
Herstellung Silicumoxycarbid-basierter mikrostrukturierter Bauteile mittels Photolithographie- und Soft Lithographie-Verfahren.
In: Mikrosystemtechnik Kongress 2011, 10. - 12.10.2011, Darmstadt.
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (2011)
7. Schlosser, Michael ; Flittner, Klaus ; Ionescu, Emanuel ; Toma, Liviu ; Riedel, Ralf ; Schlaak, Helmut F. :
Neuartiges Mikroventil mit dielektrischen Elastomeraktoren für den Einsatz in einem Mikrobrennerarray.
[Online-Edition: http://www.vde-verlag.de/proceedings-de/453367168.html]
In: Mikrosystemtechnik-Kongress 2011, 10.-12.Okt. 2011, Darmstadt.
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (2011)
8. Staab, Matthias ; Greiner, P.F. ; Schlosser, Michael ; Schlaak, Helmut F. :
Applications of Novel High-Aspect-Ratio Ultrathick UV Photoresist for Microelectroplating.
In: Microelectromechanical Systems, Journal of (JMEMS) (99) pp. 1-3. ISSN 1057-7157
[Artikel], (2011)
9. Flittner, Klaus ; Schlosser, Michael ; Lotz, Peter ; Schlaak, Helmut F. :
Integration of dielectric elastomer actuators for gas flow control.
In: EuroEAP 2011 First international conference on Electromechanically Active Polymer (EAP) transducers & artificial muscles, 8.-9. Jun 2011, Pisa, Itlay.
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (2011)
10. Schlaak, Helmut F. ; Schlosser, Michael ; Eicher, Dirk ; Staab, Matthias ; Kohlstedt, Anika :
Mikrotechnik in Bewegung - Neue Produktionsverfahren für Mikroantriebe.
In: forschen (1) pp. 26-31. ISSN 1868-9035
[Artikel], (2011)
11. Flittner, Klaus ; Schlosser, Michael ; Schlaak, Helmut F. :
Dielectric elastomer stack actuators for integrated gas valves.
In: Smart Structures / NDE. Electroactive Polymer Actuators and Devices (EAPAD) 2011, San Diego, US. Proceedings of SPIE
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (2011)
12. Flittner, Klaus ; Schlosser, Michael ; Matysek, Marc ; Lotz, Peter ; Schlaak, Helmut F. :
Integrated Fabrication of Dielectric Elastomer Stack Actuators for Use in Micro Systems.
In: 12th International Conference on New Actuators and 6th International Exhibition on Smart Actuators and Drive Systems, 14.Jun.-16.Jun. 2010, Bremen, Germany. Conference proceedings: Actuator 2010
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (2010)
13. Schlosser, Michael ; Winterstein, Thomas ; Schlaak, Helmut F. :
Electrostatic Moving Wedge Actuator Made of Electroplated Nickel.
In: 12th International Conference on New Actuators and 6th International Exhibition on Smart Actuators and Drive Systems, 14.Jun.-16.Jun. 2010, Bremen, Germany. Conference proceedings: Actuator 2010
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (2010)
14. Schlosser, Michael ; Staab, Matthias ; Schlaak, Helmut F. :
Nasschemisches Entfernen dicker SU-8-Schichten aus galvanisch abgeschiedenen Strukturen.
[Online-Edition: http://www.vde-verlag.de/proceedings-de/453253006.html]
In: Vorträge des 2. GMM-Workshops, 10.-11. Mai. 2010, Darmstadt, Germany. Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik (GMM-FB 65)
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (2010)
15. Flittner, Klaus ; Schlosser, Michael ; Lotz, Peter ; Matysek, Marc ; Schlaak, Helmut F. :
Integration of dielectric elastomer stack actuators into micro systems.
In: Smart Structures / NDE. Electroactive Polymer Actuators and Devices (EAPAD) 2010, San Diego, US. Proceedings of SPIE
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (2010)
16. Staab, Matthias ; Dassinger, F. ; Schlosser, Michael ; Schlaak, Helmut F. :
Magnetisch bistabiles Mikroaktorsystem mit elektrothermischem Antrieb.
In: Proceedings Mikrosystemtechnik Kongress 2009, 12.–14. Oktober 2009, Berlin.
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (2009)
17. Flittner, Klaus ; Matysek, Marc ; Lotz, Peter ; Schlosser, Michael ; Schlaak, Helmut F. :
Integrated gas valve array using dielectric elastomer actuators.
In: Smart Structures / NDE. Electroactive Polymer Actuators and Devices (EAPAD) XI. Proceedings of SPIE , 7287 .
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (2009)

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