Die Mikrosystemtechnik umfasst den Entwurf, die Fertigung und die Applikation von miniaturisierten technischen Systemen, deren Bauteile und Komponenten typische Strukturgrößen bzw. Toleranzen im Mikrometer- bis Nanometerbereich besitzen. [Gerlach]
Der Schwerpunkt der Forschung auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik liegt im Bereich der energieeffizienten Mikroaktorik und dort speziell bei den elektrostatischen und elektrothermomechanischen Antriebsprinzipien.
Auch die System- und Prozessintegration von extern eingebetteten Nanoobjekten in Mikrosysteme spielt eine immer größere Rolle und lässt sich unter dem Begriff Mikro-Nano-Integration zusammenfassen.
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