Mikrostrukturierbare schaltbare Hohlwellenleiter für mm- und THz-Wellen

Aufbauend auf der Forschung von A. Kohlstedt, soll durch David Lämmle die Herstellung
von schaltbaren HF/THz-Komponenten für Frequenzen oberhalb von 100 GHz bis in den THz-Bereich hinein untersucht werden. Auch dies geschieht im Rahmen
des DFG-Graduiertenkollegs TICMO. Für die Herstellung von mikrotechnischen
Hohlleitern wird UV-Tiefenlithographie zur Strukturierung verwendet, welche danach
mikrogalvanisch in Kupfer abgeformt werden. Ein wichtiger Aspekt der Arbeit
stellt die Untersuchung und Optimierung des elektrischen Kontakts zwischen den
beiden Kanalstrukturen (siehe Abbildung) des Mikrosystems dar.
Die Ankopplung des Mikrosystems an die Messumgebung spielt für die Charakterisierung
eine ebenso wichtige Rolle. Die Integration von elektrostatischen Wanderkeil-
Aktoren soll ein Umschalten zwischen mehreren Signalwegen ermöglichen. Dies
kann in Sensorsystemen, die im verwendeten Frequenzspektrum arbeiten, nützlich
sein, um Referenzmessstrecken zu realisieren. Intensitätsschwankungen im Sensorsystem
könnten somit schnell erkannt werden. Die Technologie zur Herstellung
kostengünstiger Wanderkeilaktoren aus Nickel wird hierfür untersucht und an die
Anforderungen zur Schaltung von THz-Signalen in Hohlwellenleiter angepasst.

Schematische Darstellung eines Hohlleiters mit integriertem Wanderkeil-Aktor.

Kontakt

Technische Universität Darmstadt

Institut für Elektromechanische Konstruktionen

Mikrotechnik

David Lämmle, M.Sc.

S3/06 117
Merckstr. 25
64283 Darmstadt

+49 6151 16-6281
+49 6151 16-4096

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