Integration von elektrostatischen Wanderkeilaktoren in THz Hohlwellenleiter

Im Rahmen des LOEWE Projekts Sensors Towards THz wird das reversible Schalten von Signalwegen in Hohlleitern mithilfe von mikromechanischen Schaltern untersucht. Durch die Geometrie des Hohlleiters von < 1x1 mm  und den hohen Anforderungen an die elektrische Leitung an jeglichen Kontaktstellen, gilt es Verfahren für die Herstellung des Hohlleiters zu vergleichen und Konzepte für die Integration von MEMS-Schaltern zu erarbeiten. Das Design des Schalters und der Einfluss auf die Performance stellt ein weiterere Punkt der Forschungsarbeit dar. Da die erreichbaren Kräfte des elektrostatischen Wanderkeilaktors einen großen Einfluss auf die Schalteigenschaften des Systems haben, werden die Grenzen dieser Aktoren in Bezug auf ihre darstellbaren Kräfte und Schalthübe untersucht.

Schematische Darstellung eines Hohlleiters mit integriertem Wanderkeil-Aktor.

Kontakt

Technische Universität Darmstadt

Institut für Elektromechanische Konstruktionen

Mikrotechnik

David Lämmle, M.Sc.

S3/06 120
Merckstr. 25
64283 Darmstadt

+49 6151 16-6281
+49 6151 16-4096

A A A | Drucken | Impressum | Sitemap | Suche | Kontakt
Zum SeitenanfangZum Seitenanfang