Publikationen aus dem Fachgebiet M+MENS

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2005

1. Ballas, R. G. ; Greiner, P. F. ; Schlaak, Helmut F. (2005):
Non-contact deflection measurements of piezoelectric beam bending actuators with an integrated inductive sensor in combination with a high-accuracy electronic circuit.
Techn. Univ., In: Mikro-System-Technik Chemnitz '05 : Mikromechanik & Mikroelektronik, Technische Universität Chemnitz, 26./27. Oktober 2005, [Konferenzveröffentlichung]

2. Ballas, R. G. ; Greiner, P. F. ; Schlaak, Helmut F. (2005):
Smart piezoelectric bending micro actuator : an integrated inductive non-contact proximity sensor to detect tip deflection.
VDE-Verl., In: Mikrosystemtechnik Kongress 2005, Freiburg , Germany, 10. bis 12. Oktober 2005, [Konferenzveröffentlichung]

3. Ballas, R. G. ; Greiner, P. F. ; Schlaak, Helmut F. (2005):
Deflection measurement of piezoelectric bending actuators with a combination of an integrated non-contact inductive sensor and high-accuracy electronic circuit.
Peter Scharff].- Ilmenau : Verl. ISLE, In: Mechanical engineering from macro to nano : 50. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, Technische Universität Ilmenau, 19. - 23.9.2005, [Konferenzveröffentlichung]

4. Ballas, R. G. ; Greiner, P. F. ; Schlaak, Helmut F. ; Schmid, Andreas Joseph (2005):
Bending Actuators with Integrated Capacitive and Inductive Sensors for Deflection Measurement.
In: 7. GMA-Kongress 2005 - Automation als interdisziplinäre Herausforderung, Baden-Baden, Deutschland, 7.8. Juni 2005, [Konferenzveröffentlichung]

5. Ballas, R. G. ; Greiner, P. F. ; Schlaak, Helmut F. ; Schmid, Andreas Joseph (2005):
Piezoelektrische Biegeaktoren mit integrierter kapazitiver und induktiver Sensorik zur Erfassung der Auslenkung.
Düsseldorf, VDI-Verl., In: Automation als interdisziplinäre Herausforderung : GMA-Kongress 2005 ; Kongress Baden-Baden, 7. und 8. Juni 2005 / VDI/VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik.- Düsseldorf : VDI-Verl., 2005.- 910 S.- (VDI-Berichte ; 1883).- ISBN: 3-18-091883-, [Konferenzveröffentlichung]

6. Ballas, R. G. ; Schlaak, Helmut F. ; Schmid, Andreas Joseph (2005):
Linearity Errors in Tip Deflection Measurements of Piezoelectric Beam Bending Actuators with an Integrated Capacitive Strain Sensor.
In: Mechatronik 2005 - Innovative Produktentwicklung, Wiesloch, Deutschland, 1.-2. Juni, [Konferenzveröffentlichung]

7. Ballas, R. G. ; Schlaak, Helmut F. ; Schmid, Andreas Joseph (2005):
Closed form analysis of piezoelectric multilayer bending actuators using constituent equations.
Vol. 1.- Piscataway, NJ, IEEE Operations Center, In: Transducers '05 : the 13th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems ; Seoul, Korea, [June 5 - 9, 2005] ; digest of technical papers / sponsored by Korean Sensors Society. Technical co-sponsors: IEEE Electron Devices Soci, [Konferenzveröffentlichung]

8. Ballas, R. G. ; Schlaak, Helmut F. ; Schmid, Andreas Joseph (2005):
Linearity error of a high-accuracy electronic in combination with an integrated capacitive strain sensor for deflection measurements of a piezoelectric beam multilayer actuator.
AMA Service Ges., In: SENSOR 2005 - 12th international conference, Nürnberg, Germany, 10 - 12 May 2005, [Konferenzveröffentlichung]

9. Ballas, R. G. ; Schlaak, Helmut F. ; Schmid, Andreas Joseph (2005):
Linearitätsfehler bei der Erfassung der Auslenkung piezoelektrischer Biegeaktoren mit integriertem kapazitivem Dehnungssensor.
Düsseldorf, VDI-Verl., In: Mechatronik 2005 : innovative Produktentwicklung ; Maschinenbau, Elektrotechnik, Informationstechnik ; Tagung Wiesloch, 1. bis 2. Juni 2005 / VDI/VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik.- Düsseldorf : VDI-Verl., 2005.- (VDI-Berichte ; 1892).-, [Konferenzveröffentlichung]

10. Fernholz, G. ; Schlaak, Helmut F. (2005):
Potentials of cost reduction by use of ultra precision machining.
Karlsruhe, Forschungszentrum Karlsruhe, In: COMS 2005, Baden-Baden, August 21 - 25, 2005, 10th International Commercialization of Micro and Nano Systems Conference : [proceedings] / Conference organizers: MANCEF, Micro and Nano Commercialization Education Foundation; Forschungszentrum Karlsruhe.- K, [Konferenzveröffentlichung]

11. Kern, T. A. ; Schlaak, Helmut F. ; Werthschützky, Roland (2005):
Mikroelektromechanische Systeme in der Medizintechnik – Projektkanon am Institut für Elektromechanische Konstruktionen.
In: Bionik; Rossmann, T.; Tropea, C. (Hrsg.), Berlin, Heidelberg, New York, Springer Verlag, [Buchkapitel]

12. Kern, Thorsten Alexander ; Blechschmidt, Ronald A. ; Werthschützky, Roland ; Schlaak, Helmut F. (2005):
Mikro-elektromechanische Systeme in der Medizintechnik.
In: Bionik : aktuelle Forschungsergebnisse in Natur-, Ingenieur- und Geisteswissenschaft / Torsten Rossmann; Cameron Tropea [(Hrsg.)]- Berlin [u.a.] : Springer, 2005.- XIV, 599 S.-ISBN: 3-540-21890-4, [Buchkapitel]

13. Schlaak, Helmut F. (2005):
Leistungsübertragung und -steuerung.
In: Handbuch der Mess- und Automatisierungstechnik im Automobil : Fahrzeugelektronik, Fahrzeugmechatronik / Hans-Jürgen Gevatter; Ulrich Gruenhaupt (Hrsg.)- 2., vollst. bearb. Aufl.- Berlin [u.a.] : Springer, c 2006 [erschienen 2005].- XVI, 651 S.- ISBN: 3-5, Berlin [u.a.], Springer, [Buchkapitel]

14. Schlaak, Helmut F. ; Jungmann, Markus ; Matysek, Marc ; Lotz, Peter (2005):
Novel multilayer electrostatic solid-state actuators with elastic dielectric.
Bellingham, Wash., SPIE, In: Smart structures and materials 2005: Electroactive polymer actuators and devices (EAPAD) : 7 - 10 March 2005, San Diego, California, USA / sponsored and publ. by SPIE, the International Society for Optical Engineering ... Yoseph Bar-Cohen, chair/ed.- Bell, [Konferenzveröffentlichung]

15. Schlaak, Helmut F. ; Jungnickel, Uwe ; Eicher, Dirk (2005):
Neuartige skalierbare Mikropositioniersysteme mit integrierter Kinematik.
VDE-Verl., In: Mikrosystemtechnik Kongress 2005, Freiburg , Germany, 10. bis 12. Oktober 2005, [Konferenzveröffentlichung]

16. Schlaak, Helmut F. ; Jungnickel, Uwe ; Eicher, Dirk (2005):
Miniaturisierbare skalierbare Positioniersysteme mit monolithischen kinematischen Strukturen.
23.9.2005 ; [proceedings ; ... the jubilee Colloquium and the title is "Mechanical Engineering - from Macro to Nano" ; Jubiläumskolloquium ... unter dem Thema "Maschinenbau von Makro bis Nano"] / Technische Universität Ilmenau, Faculty of Mechanical Eng, Peter Scharff].- Ilmenau : Verl. ISLE, In: :Mechanical engineering from macro to nano : 50. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, 19. - 23.9.2005 ; [proceedings ; ... the jubilee Colloquium and the title is "Mechanical Engineering - from Macro to Nano" ; Jubiläumskolloquium ... unter dem, [Konferenzveröffentlichung]

17. Schmid, Andreas Joseph ; Töpfer, U. ; Ballas, R. G. ; Schlaak, Helmut F. (2005):
A coupled piezoelectric actuator : polymer sensor system.
Wunstorf, AMA Service Ges., In: SENSOR 2005 : 12th international conference, Nürnberg, Germany, 10 - 12 May 2005 ; proceedings / ... an event of the Association for Sensor Technology, AMA.- Wunstorf : AMA Service Ges., 2005.-, [Konferenzveröffentlichung]

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Fachgebiet Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme (M+EMS)

Mikrotechnik

Prof. Dr.-Ing. Helmut F. Schlaak

S3/06 128
Merckstraße 25
64283 Darmstadt

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