Fachgebiet Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme (M+EMS)

Prof. Dr.-Ing. Helmut F. Schlaak

Forschungsgebiet

Elektromechanische Systeme unterliegen einem Wandel in der Produktionstechnik, wie dies zuvor seit Jahrzehnten in der Mikroelektronik erfolgt ist. Anstelle des seriellen Fügens vieler zuvor durch mechanische Bearbeitung geformter Einzelteile werden die funktionsbestimmenden Bauteile und Komponenten durch mikrotechnische Fertigungsverfahren hergestellt. Damit geht gleichzeitig ein Produktwandel zu höherer Leistungsfähigkeit und Miniaturisierung einher. Beispiele dieses Produktwandels sind in vielen wichtigen Industriebereichen wie der Drucktechnik, Bildaufnahme (z.B. Scanner), Datenspeicherung und Sensorik zu finden.

Die Miniaturisierung von elektromechanischen Systemen führt zu Komponenten, die aufgrund ihrer Funktion relativ große Flächen einnehmen andererseits aber aufgrund hoher Präzisionsanforderungen im Submikrometerbereich durch mikrotechnische Fertigungsverfahren hergestellt werden müssen. Dazu gehören Aktoren und fluidische Systeme, die zur Krafterzeugung gewisse Mindestgrößen aufweisen müssen, sowie Komponenten der Mikrooptik. Für derartige Mikroelektromechanische Systeme (MEMS) stehen Mikrofertigungsverfahren der Schichtabscheidung, Photolithopgraphie und Ätztechnik sowie der Präzisionsbearbeitungverfahren wie Laserbearbeitung, Mikrozerspanung und Aufbau- und Verbindungstechnik zur Verfügung.

Anwendungsfelder

Die Forschungsarbeiten überspannen folgende anwendungsorientierte und technologische Schwerpunkte:

  • Mikroaktorik
  • Fluidik
  • Mikrofertigungsverfahren
  • Medizintechnik
  • Designmethoden für Mikro-Elektro-Mechanische Systeme MEMS
  • Optik

Themen

Thematisch gliedern sich die aktuellen Forschungsarbeiten in die Themen:

Reinraumführung

Jeden ersten Donnerstag im Monat bieten wir eine Führung durch unser Mikrotechniklabor an. Die Führung beginnt um 10:30 Uhr vor Raum 130 im Hans-Busch-Institut (S3/06). Da die Teilnehmerzahl pro Führung begrenzt ist, ist eine vorherige Anmeldung unbedingt erforderlich.

Kontakt

Technische Universität Darmstadt

Institut für Elektromechanische Konstruktionen

Mikrotechnik

Prof. Dr.-Ing. Helmut F. Schlaak

S3/06 128
Merckstraße 25
64283 Darmstadt

+49 6151 16-23851
+49 6151 16-23852

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