Forschung am Fachgebiet Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme

Mikromechatronik

Die Mikromechatronik (auch als Feingerätetechnik oder Feinwerktechnik bezeichnet) beschäftigt sich mit der technischen Umsetzung von elektromechanischen Strukturen in Miniaturbauform. Dabei stehen die Entwicklung und Fertigung kleiner und präziser Aufbauten im Vordergrund. Dazu muss neben der eigentlichen Festigkeit der Bauteile auch deren Funktion im Miniaturmaßstab gewährleistet sein. Kapillarwirkung und Adhäsion wirken dem z.T. entgegen. Auch müssen die Steifigkeit der Bauteile, das Spiel von Gelenken und die Reibung stärker berücksichtigt werden als bei makroskopischen Aufbauten.

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Mikrosystemtechnik (MEMS)

Die Mikrosystemtechnik umfasst den Entwurf, die Fertigung und die Applikation von miniaturisierten technischen Systemen, deren Bauteile und Komponenten typische Strukturgrößen bzw. Toleranzen im Mikrometer- bis Nanometerbereich besitzen.  [Gerlach]

Der Schwerpunkt der Forschung auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik liegt im Bereich der energieeffizienten Mikroaktorik und dort speziell bei den elektrostatischen und elektrothermomechanischen Antriebsprinzipien.

Auch die System- und Prozessintegration von extern eingebetteten Nanoobjekten in Mikrosysteme spielt eine immer größere Rolle und lässt sich unter dem Begriff Mikro-Nano-Integration zusammenfassen.

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Elektroaktive Polymere (EAP)

Elektroaktive Polymere (EAP) ist ein Oberbegriff für eine Vielzahl von Kunststoffen, deren Gemeinsamkeit die Gestaltänderung durch Einfluss elektrischer Spannungen und Ladungen ist. Die zu Grunde liegenden Effekte können dabei höchst unterschiedlich sein. 

Eine Untergruppe hiervon stellen die Dielektrischen Elastomeraktoren (DEA) dar. Diese auf dem elektrostatischen Effekt basierenden Aktoren sind der Forschungsinhalt in dem Schwerpunkt EAP.

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Kontakt

Technische Universität Darmstadt

Institut für Elektromechanische Konstruktionen

Mikrotechnik

Prof. Dr.-Ing. Helmut F. Schlaak

S3/06 128
Merckstraße 25
64283 Darmstadt

+49 6151 16-23851
+49 6151 16-23852

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