MEMS-Team

Die Mikrosystemtechnik hat mit vielen Produkten die Märkte erobert. Beispiele sind die unzähligen Sensoren in Automobilen aber auch in Konsumgütern wie Smartphones oder Spielekonsolen. In dem immer stärker werden Wettbewerb haben sich die großen Halbleiterhersteller eine Vormachtstellung gesichert. Die Kompetenzgruppe MEMS greift genau hier an: Durch die Entwicklung von Mikrosystemen, die bewusst keine teuren Halbleiterprozesse benötigen, können die hier entwickelten Innovationen auch von kleinen Unternehmen aufgegriffen werden. Ausgehend von gemeinsamen Basistechnologien haben sich zwei Forschungsschwerpunkte, die innerhalb der Kompetenzgruppe MEMS bearbeitet werden:

Mikroaktorik: Entwicklung und Herstellung kleinster Antriebe auf Polymerbasis. Die Antriebe erzeugen trotz ihrer kleinen Abmessungen so hohe Auslenkungen und Kräfte dass sie problemlos Relais oder Ventile schalten oder sogar Braille Pins für Blindenschrift bewegen können.

Mikro-Nano-Integration: Es ist gelungen, einen einfachen Prozess zu entwickeln, der die direkte Erzeugung von kleinsten Drähten mit Durchmessern im Nanometerbereich in Mikrosysteme ermöglicht. Damit können wir Effekte ausnutzen, die erst in so kleinen Strukturen überhaupt auftreten.

Kontakt

Für Fragen im Bereich der Mikrosystemtechnik am Institut EMK stehen wir gerne unter folgender Emailadresse zur Verfügung:

 

Kontakt

Technische Universität Darmstadt

Institut für Elektromechanische Konstruktionen

Mikrotechnik

Prof. Dr.-Ing. Helmut F. Schlaak

S3/06 128
Merckstraße 25
64283 Darmstadt

+49 6151 16-23851
+49 6151 16-23852

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