• Faltmodell Siliziumgitter
• Fachzeitschriften der Mikrotechnik
• interessante Links

Zum besseren Verständnis der Miller-Indizes und der Kristallorientierung im Si-Gitter gibt es zwei Modelle zum Ausschneiden und Basteln:

Faltmodell Silizium-Gitter (1.3 MB)

Faltmodell Silizium-Gitter mit zusätzlichen Informationen (17 kB)

Folgende Fachzeitschriften behandeln aktuelle Themen der Mikrosystemtechnik:

Journal of Micromechanics and Microengineering

Microsystem Technologies

Sensors and Actuators A: Physical

Journal of Microelectromechanical Systems

Über die hinterlegten Links ist innerhalb des TUD-Netzes bzw. über VPN ein Volltextzugriff möglich.

• Sandia National Laboratories
  http://mems.sandia.gov/scripts/images.asp
• W. S. N Trimmer veröffentlichte 1989 eine Klammernotation um das Skalierungsverhalten von physikalischen Effekten und Wirkprinzipien zu beschreiben:
  Trimmer, W. S. N.: Microrobots and Micromechanical Systems. Sensors and Actuators, 19 (1989), S. 267-287.
• Visualisierung von Kristallstrukturen
  • Diamantstruktur (ähnlich Si): http://cst-www.nrl.navy.mil/lattice/struk/a4.html
  • Spezialstruktur in Si (nicht in "normalem Wafer"): http://cst-www.nrl.navy.mil/lattice/struk/bc8.html
  • Hexagonales Gitter: http://cst-www.nrl.navy.mil/lattice/struk/a_f.html