Faltmodell Siliziumgitter

Zum besseren Verständnis der Miller-Indizes und der Kristallorientierung im Si-Gitter gibt es zwei Modelle zum Ausschneiden und Basteln:

Faltmodell Silizium-Gitter (1.3 MB)

Faltmodell Silizium-Gitter mit zusätzlichen Informationen (17 kB)

 

Fachzeitschriften der Mikrotechnik

Folgende Fachzeitschriften behandeln aktuelle Themen der Mikrosystemtechnik:

Journal of Micromechanics and Microengineering

Microsystem Technologies

Sensors and Actuators A: Physical

Journal of Microelectromechanical Systems

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interessante Links

Kontakt

Technische Universität Darmstadt

Institut für Elektromechanische Konstruktionen

Mikrotechnik

Prof. Dr.-Ing. Helmut F. Schlaak

S3/06 128
Merckstraße 25
64283 Darmstadt

+49 6151 16-4696
+49 6151 16-4096

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