Vorlesung "Mikrosystemtechnik"

Aktuell

Achtung! Tausch von Vorlesung und Übungstermin!

Am Mittwoch, den 9.12.2018, findet die 7. Übung statt. Dafür keine Vorlesung!

Im Gegenzug dazu wird die ausfallende Vorlesung auf den 20.01.2019 von 13:30 Uhr bis 15:10 Uhr vorschoben. Entsprechend findet dort keine Übung statt.

Aufruf zur Teilnahme: COSIMA-Wettbewerb

Präsentation der Fachgesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik: GMM

Hinweise

Das Skript "Mikrosystemtechnik I" kann im Kittler Student Center (KSC) (S3|06/151) zum Unkostenbeitrag von 6 € erworben werden.

Inhalt

Das Lernziel der Lehrveranstaltung besteht im Verstehen des Aufbaus und der Funktionsweise von Mikrosystemen wie Mikrosensoren, Mikroaktoren, mikrofluidischen und mikrooptischen Komponenten. Ausgehend von den Grundlagen der Mikrofertigungsverfahren soll exemplarisch der Entwurf von Mikrosystemen an Beispielen erlernt werden.

  • Einführung und Definitionen zur Mikrosystemtechnik
  • Werkstofftechnische Grundlagen
    • Konstruktionswerkstoffe (Silizium, Glas, Keramik
    • Funktionswerkstoffe (physikalische Effekte)
  • Grundlagen der Technologien
    • Schichtabscheidung
    • Schichtstrukturierung, Ätzverfahren
    • Silizium-Mikromechanik
    • LIGA-Verfahren
    • Aufbau- und Verbindungstechnik
    • Mechanische Mikrofertigungung
  • Funktionselemente der Mikrotechnik
    • Mechanische Funktionselemente
    • Grundlage des Entwurfsprozesses
  • Aufbau und Funktion von Mikroaktoren
    • Theoretische Grundlagen zu Mikroaktoren (Feld- und Dehnungsaktoren)
    • Skalierung von Mikroaktoren
    • Beispiele: Antriebe, Schalter, Mikrooptik, Mikrofluidik

  • Aufbau und Funktion von Mikrosensoren
    • Beispiele: Beschleunigungssenor, Drehratensensor, Drucksensor

  • Mikrofluidische Systeme
    • Ventile, Pumpen, Tintendruck

  • Trends, ökonomische Aspekte

Die Lehrveranstaltung Mikrosystemtechnik V2+Ü1 wendet sich an Studierende der Elektrotechnik und Informationstechnik (ETIT) sowie des Maschinenbaus. Sie ist als Kernfach in der Studienrichtung Mechatronik sowie Wahlpflichtfach in einigen Studienrichtungen von ETIT. Im Masterstudiengang "Sensorik, Aktorik und Elektronik" ist „Mikrosystemtechnik“ Pflichtfach und kann ab dem 1. Studiensemester belegt werden.

Organisation

Typ:

Vorlesung (V2)

Übung

Zeit:

Mi, 9:50-11:20

Do 14:25-15:10

Raum:

S3|06/052

S3|06/053

erster Termin:

17.10.2018

01.11.2018

Dozent:

Prof. H. F. Schlaak

Konja Wick

Voraussetzungen zur Teilnahme

Keine Voraussetzungen, folgende Lehrveranstaltungen sind jedoch hilfreich:

  • Technologie der integrierten Schaltungen
  • Technologie der Mikro- und Feinwerktechnik
  • Elektromechanische Systeme I und II

relevante Literatur

  • H. Schlaak, D. Eicher, F. Greiner: Skript Mikrosystemtechnik I, Darmstadt, 2008
  • G. Gerlach; W. Dötzel: Grundlagen der Mikrosystemtechnik,Carl Hanser Verlag, München, 1997
  • U. Mescheder: Mikrosystemtechnik-Konzepte und Anwendungen, Teubner Verlag, Stuttgart, 2000
  • W. Menz, J. Mohr: Mikrosystemtechnik für Ingenieure, VCH Verlag, Weinheim, 3. erw. Auflage, 2005

Kontakt

Technische Universität Darmstadt

Institut für Elektromechanische Konstruktionen

Mikrotechnik

Prof. Dr.-Ing. Helmut F. Schlaak

S3/06 128
Merckstraße 25
64283 Darmstadt

+49 6151 16-23851
+49 6151 16-23852

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