Inhalt

Ziel der Vorlesung ist es, Kenntnisse über die  Fertigungsverfahren in der  Mikrosystemtechnik zu geben.

Der Inhalt dieser Vorlesung deckt sich zu großen Teilen mit der Vorlesung Technologien der Mikro- und Feinwerktechnik II

Themen

  • Grundprozesse der Mikrotechnik:
    • Substrate
    • Bescichten
    • Photolithographie
    • Ätzverfahren
  • Mikromechanische Fertigungsverfahren
    • Bulk-Mikromechanik
    • Oberflächenmikromechanik
    • LIGA-Verfahren
  • Fertigung elektronischer Baugruppen
    • Chipmontage und Kontaktierung
    • Gehäuseformen
    • Leiterplattentechnik
    • Hybridtechnik
  • Fertigung von Bauteilen aus Glaswerkstoffen
    • Struktur und Zusammensetzung von Glas
    • Glasherstellung
    • Industrielle Glasarten
    • Optische Gläser
    • Glaskeramik

Übungsinhalt

Die Übung besteht zu einem Großteil aus praktischen Übungen im Reinraum. Anhand der Herstellung eines Dünnschicht-Temperatursensors werden die wichtigsten Prozessschritte erlernt. Eine ausführliche Vor- und Nachbereitung der Übung ist für eine erfolgreiche Teilnahme pflicht.

Kontakt

Technische Universität Darmstadt

Institut für Elektromechanische Konstruktionen

Mikrotechnik

Prof. Dr.-Ing. Helmut F. Schlaak

S3/06 128
Merckstraße 25
64283 Darmstadt

+49 6151 16-23851
+49 6151 16-23852

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