Vertiefungsseminar Mikrosystemtechnik

Allgemeines

Inhalt

Kennenlernen und gezieltes Vertiefen von aktuellen Forschungsthemen auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik. Gleichzeitiges Trainieren von selbstständigem wissenschaftlichem Erarbeiten eines Fachthemas mit angemessener Präsentation und Dokumentation. Durchführen des Mikrosystemtechnik-Seminars in Teams.

Reinraumpraktikum

Seit dem Sommersemester 2016 findet das Reinraumpraktikum im Rahmen der Vorlesung Technologie der Mikrosystemtechnik statt.

Prüfungsleistung

Erarbeiten und Halten eines Fachvortrags mit Dokumentation in Form eines wissenschaftlichen Berichts im IEEE-Standard.

Lehr- und Lernmaterialien  

Aktuelle Veröffentlichungen auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik (deutsch/ englisch).

Externe Referenten

Ergänzt wird das Seminar durch Vorträge von Experten aus Forschung und Industrie.

Organisation

Typ: Seminar
Zeit: Mi, 14:25 - 16:05
Raum: S306/146
Erster Termin: 19. April 2017
Dozent: Prof. Schlaak
CP: 4
Turnus: jedes SoSe
Sprache: deutsch
Anmeldung: über TUCaN

Voraussetzung

Opens internal link in current windowMikrosystemtechnik

Ansprechpartner

Roland Dörr

Grundlagenliteratur

  • H. Schlaak, D. Eicher, F. Greiner, M. Voit: Skript Mikrotechnische Systeme, Darmstadt, 2007
  • G. Gerlach; W. Dötzel: Grundlagen der Mikrosystemtechnik,Carl Hanser Verlag, München, 1997
  • U. Mescheder: Mikrosystemtechnik-Konzepte und Anwendungen, Teubner Verlag, Stuttgart, 2000
  • W. Menz, J. Mohr: Mikrosystemtechnik für Ingenieure, VCH Verlag, Weinheim, 2. erw. Auflage, 1997

Kontakt

Technische Universität Darmstadt

Institut für Elektromechanische Konstruktionen

Mikrotechnik

Prof. Dr.-Ing. Helmut F. Schlaak

S3/06 128
Merckstraße 25
64283 Darmstadt

+49 6151 16-23851
+49 6151 16-23852

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